CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Hot Embossed Microoptics in Silicon Micromachining using a Substrate Bonder

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Caglar Ataman ; Sven Holmström ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Hakan Urey
Proceedings of 19th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2008 p. 137-140. (2008)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2008-10-13.
CPL Pubid: 75222

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik
Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Integration of diffractive, refractive and plasmonic optical structures in highly functional MEMS-based scanning and biosensing systems