CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Mechanically Coupled Comb Drive MEMS Stages

Aslihan Arslan ; Caglar Ataman ; Sven Holmström ; Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; H. Rahmi Seren ; Hakan Urey ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
Presented at IEEE/LEOS Optical MEMS & Nanophotonics 2008 (Freiburg, Germany, Aug. 11-14, 2008) (2008)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

Nyckelord: Mechanical coupling, MEMS stage, electrostatic actuation



Denna post skapades 2008-08-11.
CPL Pubid: 72825

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Fotonik

Chalmers infrastruktur