CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Mechanically Coupled Comb Drive MEMS Stages

Aslihan Arslan ; Caglar Ataman ; Sven Holmström ; Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; H. Rahmi Seren ; Hakan Urey ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS; Freiburg; Germany; 11 August 2008 through 14 August 2008 p. 140-141. (2008)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

An electrostatic large clear-aperture in-plane scanner with a novel actuation principle Is presented for fast and large stroke scanning applications. 9 μm resonant deflection at 11.51 KHz with 100 Vpp excitation is observed.

Nyckelord: Mechanical coupling, MEMS stage, electrostatic actuation



Denna post skapades 2008-08-11. Senast ändrad 2017-11-16.
CPL Pubid: 72825

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Fotonik

Chalmers infrastruktur