CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

All-metal micromachining for the fabrication of sub-millimetre and THz waveguide components and circuits

Vincent Desmaris (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Denis Meledin (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Alexey Pavolotsky (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Raquel Monje (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Victor Belitsky (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling)
Journal of Micromechanics and Microengineering Vol. 18 (2008), p. 095004.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

A novel technology for the manufacturing of micromachined all-metal waveguide circuits and structures for frequency bands ranging from 200 up to 7000 GHz (sub-millimetre and THz) is presented. The waveguide circuits are formed by using metal electroplating with preceding sputtering of a thin metal film seed layer over a photo-lithographically patterned thick SU-8 photoresist. The process provides the possibility of making three-dimensional structures via facilitating multi-level (layered) designs. The surface roughness of the THz waveguide structure was demonstrated to be as low as 30 nm. This technology was used to build a state-of-the-art waveguide balanced 1.3 THz hot electron bolometer mixer and other applications for radio astronomy instrumentation.



Denna post skapades 2008-07-25. Senast ändrad 2014-09-02.
CPL Pubid: 72535

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling (2005-2010)

Ämnesområden

Elektrofysik
Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik
Rymd- och flygteknik
Övrig teknisk materialvetenskap
Övrig teknisk fysik

Chalmers infrastruktur