CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Microfabrication Technology for All-Metal Sub-mm and THz Waveguide Receiver Components

Vincent Desmaris (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Denis Meledin (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Alexey Pavolotsky (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling) ; Victor Belitsky (Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling)
In Proceedings of The 19th International Symposium on Space Terahertz Technology, Groningen, 28-30 April, 2008, ed. W. Wild, Space Research Organization of the Netherlands (SRON) Vol. part I (2008), p. 342-345.
[Konferensbidrag, refereegranskat]

A novel technology for manufacturing of micromachined all-metal waveguide circuits and structures for the frequency band from 200 up to 7000 GHz (Sub-Millimeter and THz) is presented. The waveguide circuits are formed using metal electroplating with preceding sputtering of a thin metal film seed layer over a photo-lithographically patterned thick SU-8 photo-resist. The process provides possibility of making 3-dimensional structures via facilitating of multi-level (layered) designs. Surface roughness of the THz waveguide structure was demonstrated to be below 0.1 µm. This technology was used to build a state-of-the art waveguide balanced 1.3 THz Hot Electron Bolometer mixer and other application for radio astronomy instrumentation.

Nyckelord: THz, micromachining, waveguide technology, mixers



Denna post skapades 2008-06-16. Senast ändrad 2014-09-02.
CPL Pubid: 71771

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för radio- och rymdvetenskap, Avancerad mottagarutveckling (2005-2010)

Ämnesområden

Fysik
Astronomi, astrofysik och kosmologi
Elektrofysik
Rymd- och flygteknik
Materialteknik
Övrig teknisk materialvetenskap

Chalmers infrastruktur