CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Comparison of high-resistivity silicon surface passivation methods

Martin Norling (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fysikalisk elektronik) ; Dan Kuylenstierna (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fysikalisk elektronik) ; Andrei Vorobiev (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fysikalisk elektronik) ; Klaus Reimann ; Dimitri Lederer ; Jean-Pierre Raskin ; Spartak Gevorgian (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fysikalisk elektronik)
EuMIC 2007 Proceedings p. 215-218. (2007)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-12-04. Senast ändrad 2014-09-02.
CPL Pubid: 62409

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fysikalisk elektronik (2007-2010)

Ämnesområden

Elektroteknik
Elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Piezoelectric and ferroelectric device technologies for microwave oscillators