CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Application of SOI based sensors for MEMS wafer-level packaging

Farzan Alavian Ghavanini (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Cristina Rusu ; Katrin Persson ; Sjoerd Hassl ; Henrik Rödjegård ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
EuroSOI conference proceedings Vol. 1 (2006), 1, p. 115,116.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-01-17.
CPL Pubid: 25852

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Övrig teknisk fysik

Chalmers infrastruktur