CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Broadband microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors

Andrei Vorobiev (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi) ; Dan Kuylenstierna (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi) ; Pär Rundqvist (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi) ; Spartak Gevorgian (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi)
36th European Microwave Conference, EuMC 2006; Manchester; United Kingdom; 10 September 2006 through 12 September 2006 p. 843-846. (2006)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

A simple method for the assessment of layout parasitics in the on-wafer microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors is presented. The proposed method considers also the effect of the negative inductance associated with calibration procedure.



Denna post skapades 2007-03-08. Senast ändrad 2016-05-19.
CPL Pubid: 25834

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi (2006-2007)

Ämnesområden

Funktionella material

Chalmers infrastruktur