CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Resonant mass loading calibration method for nanoindentor force sensor

Alexandra Nafari (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
Eurosensors XX 2006 (2006)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

Nyckelord: Force calibration, MEMS, third harmonic method



Denna post skapades 2007-01-17.
CPL Pubid: 25796

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Elektronisk mät- och apparatteknik

Chalmers infrastruktur