CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Multi-wavelength VCSEL arrays using high-contrast gratings

Erik Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Johan S. Gustavsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; W.V. Sorin ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; D. Fattal ; Åsa Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; M. Tan ; Anders Larsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik)
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering (0277-786X). Vol. 10113 (2017),
[Konferensbidrag, refereegranskat]

The use of a high-contrast grating (HCG) as the top mirror in a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) allows for setting the resonance wavelength by the grating parameters in a post-epitaxial growth fabrication process. Using this technique, we demonstrate electrically driven multi-wavelength VCSEL arrays at ∼980 nm wavelength. The VCSELs are GaAs-based and the suspended GaAs HCGs were fabricated using electron-beam lithography, dry etching and selective removal of an InGaP sacrificial layer. The air-coupled cavity design enabled 4-channel arrays with 5 nm wavelength spacing and sub-mA threshold currents thanks to the high HCG reflectance.

Nyckelord: high-contrast grating, optical interconnect, vertical-cavity surface-emitting laser, wavelength multiplexing



Denna post skapades 2017-06-02. Senast ändrad 2017-06-02.
CPL Pubid: 249570

 

Läs direkt!

Lokal fulltext (fritt tillgänglig)

Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Atom- och molekylfysik och optik

Chalmers infrastruktur