CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Correlation between Al grain size, grain boundary grooves and local variations in oxide barrier thickness of Al/AlOx/Al tunnel junctions by transmission electron microscopy

Samira Mousavi Nik (Institutionen för fysik, Eva Olsson Group (Chalmers)) ; Philip Krantz (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Lunjie Zeng (Institutionen för fysik, Eva Olsson Group (Chalmers)) ; Tine Greibe (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Henrik Pettersson (Institutionen för fysik, Eva Olsson Group (Chalmers)) ; Stefan Gustafsson (Institutionen för fysik, Eva Olsson Group (Chalmers)) ; Per Delsing (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Eva Olsson (Institutionen för fysik, Eva Olsson Group (Chalmers))
SpringerPlus (2193-1801). Vol. 5 (2016), p. 1067.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

A thickness variation of only one Ångström makes a significant difference in the current through a tunnel junction due to the exponential thickness dependence of the current. It is thus important to achieve a uniform thickness along the barrier to enhance, for example, the sensitivity and speed of single electron transistors based on the tunnel junctions. Here, we have observed that grooves at Al grain boundaries are associated with a local increase of tunnel barrier thickness. The uniformity of the barrier thickness along the tunnel junction thus increases with increasing Al grain size. We have studied the effect of oxidation time, partial oxygen pressure and also temperature during film growth on the grain size. The implications are that the uniformity improves with higher temperature during film growth.

Nyckelord: TEM, Tunnel junction, Grain size



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2016-08-01. Senast ändrad 2016-09-16.
CPL Pubid: 239685

 

Läs direkt!

Lokal fulltext (fritt tillgänglig)

Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)