CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Refractive lenses in silicon micromachining by reflow of amorphous fluorocarbon polymer

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
Jornal of Micromechanics and Microengineering Vol. 16 (2006), 6, p. S88-S95.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-01-15.
CPL Pubid: 23514

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Integration of diffractive, refractive and plasmonic optical structures in highly functional MEMS-based scanning and biosensing systems


Polymer Microoptics in Silicon Micromachining