CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Supporting structures for transmissive optical components in MEMS

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
17th MicroMechanics Europe (MME06) (Southampton, UK, Sept. 3-5, 2006) p. 69-72. (2006)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-01-15.
CPL Pubid: 23512

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Polymer Microoptics in Silicon Micromachining


Integration of diffractive, refractive and plasmonic optical structures in highly functional MEMS-based scanning and biosensing systems