CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A FOUR LEVEL SILICON MICROSTRUCTURE FABRICATION BY DRIE

Sofia Rahiminejad (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap) ; Piotr Cegielski (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap) ; Morteza Abbasi (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial och system )
Journal of microelectromechanical systems (1057-7157). (2016)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2016-04-05. Senast ändrad 2016-04-12.
CPL Pubid: 234103