CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A FOUR LEVEL SILICON MICROSTRUCTURE FABRICATION BY DRIE

Piotr Cegielski (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap) ; Sofia Rahiminejad (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Sona Carpenter (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik) ; Morteza Abbasi (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
26th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, MME 2015, Toledo, Spain, September 20 - 23, 2015 (2015)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2015-10-12.
CPL Pubid: 224063

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik

Ämnesområden

Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Transport
Nanoteknik

Chalmers infrastruktur