CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

TiO2 membrane high-contrast grating reflectors for vertical-cavity light-emitters in the visible wavelength regime

Seyed Ehsan Hashemi (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Johan S. Gustavsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Stefan Carlsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Georg Rossbach ; Åsa Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik)
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics (2166-2746). Vol. 33 (2015), 5,
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

© 2015 American Vacuum Society. In this work, the authors describe a novel route to achieve a high reflectivity, wide bandwidth feedback mirror for GaN-based vertical-cavity light emitters; using air-suspended high contrast gratings in TiO2, with SiO2 as a sacrificial layer. The TiO2 film deposition and the etching processes are developed to yield grating bars without bending, and with near-ideal rectangular cross-sections. Measured optical reflectivity spectra of the fabricated high contrast gratings show very good agreement with simulations, with a high reflectivity of >95% over a 25 nm wavelength span centered around 435 nm for the transverse-magnetic polarization.



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2015-09-28. Senast ändrad 2015-10-21.
CPL Pubid: 223294

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)