CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Buckled diamond-like carbon nanomechanical resonators

M. Tomi ; Andreas Isacsson (Institutionen för teknisk fysik, Kondenserade materiens teori) ; M. Oksanen ; D. Lyashenko ; J. P. Kaikkonen ; S. Tervakangas ; J. Kolehmainen ; P. J. Hakonen
Nanoscale (2040-3364). Vol. 7 (2015), 35, p. 14747-14751.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

We have developed capacitively-transduced nanomechanical resonators using sp(2)-rich diamond-like carbon (DLC) thin films as conducting membranes. The electrically conducting DLC films were grown by physical vapor deposition at a temperature of 500 degrees C. Characterizing the resonant response, we find a larger than expected frequency tuning that we attribute to the membrane being buckled upwards, away from the bottom electrode. The possibility of using buckled resonators to increase frequency tuning can be of advantage in rf applications such as tunable GHz filters and voltage-controlled oscillators.



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2015-09-18. Senast ändrad 2015-09-25.
CPL Pubid: 222750

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för teknisk fysik, Kondenserade materiens teori (1900-2015)

Ämnesområden

Materialvetenskap
Materialteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur