CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Micromachining by sacrificial aluminium etching

David Westberg (Institutionen för fasta tillståndets elektronik)
Göteborg : Chalmers University of Technology, 1997. ISBN: 992-460935-2.- 25 s. s.
[Licentiatavhandling]

Nyckelord: surface micromachining, sacrificial aluminium etching, SALE, CMOS-compatible micromachining, sacrificial etching, aluminium etching, densitometer, nozzle, inkjet



Denna post skapades 2013-09-19.
CPL Pubid: 183668

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Ingår i serie

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. 271