CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Kinoforms and peripheral vision

Fredrik Nikolajeff (Institutionen för mikrovågsteknik)
Göteborg : Chalmers University of Technology, 1994. ISBN: 91-7032-920-6.- iii, 11 s. s.

Nyckelord: kinoforms, direct-write electron-beam litography, proximity effect, successive development, perimetry, resolution, high-pass spatial frequency target

Denna post skapades 2013-08-29.
CPL Pubid: 182511


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikrovågsteknik (1900-2003)


Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Ingår i serie

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. 169