CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Nano-patterning of the electron gas at the LaAlO3/SrTiO3 interface using low-energy ion beam irradiation

Pier Paolo Aurino (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Alexei Kalaboukhov (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Nikolina Tuzla (Institutionen för teknisk fysik, Eva Olsson Group ) ; Eva Olsson (Institutionen för teknisk fysik, Eva Olsson Group ) ; Tord Claeson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Dag Winkler (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik)
Applied Physics Letters (0003-6951). Vol. 102 (2013), 20, p. 201610.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

The quasi-two dimensional electron gas formed at the interface between LaAlO3 (LAO) and SrTiO3 (STO) shows fascinating properties, such as two-dimensional superconductivity, giant electric field effect, and the possible co-existence of ferromagnetic and superconducting phases. In this work, we demonstrate that the conducting LAO/STO interface can be made insulating after short irradiation by a beam of low energy Ar+ ions. The irradiation process does neither result in physical removal of the LAO film nor produces oxygen vacancies in the STO layer. Using electron beam lithography and low ion beam energy irradiation, we fabricated conducting nano-structures in the LAO/STO interface with dimensions down to 50 nm. Such a reliable and robust method of nano-patterning may be a prerequisite for future electronic applications of the LAO/STO interface.

Nyckelord: Micro- and nanolithography, Micro- and nanoscale pattern formation, LAO/STO interface



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2013-06-11. Senast ändrad 2015-04-09.
CPL Pubid: 178207

 

Läs direkt!

Lokal fulltext (fritt tillgänglig)

Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)