CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding

Mikael Johansson (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik)
Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings Vol. 99 (2001), p. 420-428.
[Konferensbidrag, refereegranskat]

In Electrochemical Society Series.



Denna post skapades 2006-08-28. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17803

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur