CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding

Petra Amirfeiz (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik) ; Mats Bergh (Institutionen för mikroelektronik) ; Ezio Zanghellini (Institutionen för fysik) ; Lars Börjesson (Institutionen för teknisk fysik)
Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings Vol. 99 (2001), p. 29-39.
[Konferensbidrag, refereegranskat]

In Electrochemical Society Series



Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17801

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)
Institutionen för fysik (1900-2003)
Institutionen för teknisk fysik (1900-2015)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur