CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Plasma assisted room temperature bonding for MST

Anke Weinert (Institutionen för mikroelektronik) ; Petra Amirfeiz (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik)
Sensors And Actuators A-Physical Vol. 92 (2001), 1-3, p. 214-222.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-08-28. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17764

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur