CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Electrical characterization of low thermal budget gate oxides on Si/Si0.8Ge0.2/Si substrates

Alok Sareen (Institutionen för mikroelektronik) ; A. C. Lindgren ; Per Lundgren (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik)
Solid-State Electronics Vol. 46 (2002), 7, p. 991-995.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-01-15. Senast ändrad 2015-12-17.
CPL Pubid: 17762

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur