CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

The Effects Of Hf Cleaning Prior To Silicon-Wafer Bonding

Karin Ljungberg ; Ylva Backlund ; Anders Soderbarg ; Mats Bergh (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Mats O. Andersson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik)
Journal Of The Electrochemical Society Vol. 142 (1995), 4, p. 1297-1303.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17741

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur