CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding

Mikael Johansson (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik)
Journal Of Applied Physics Vol. 88 (2000), 2, p. 1118-1123.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-08-28. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17739

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur