CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Ultraclean Si/Si interface formation by surface preparation and direct bonding in ultrahigh vacuum

Karin Hermansson ; Francois Grey ; Stefan Bengtsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Ulf Södervall (Institutionen för fysik)
Journal Of The Electrochemical Society Vol. 145 (1998), 5, p. 1645-1649.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17735

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)
Institutionen för fysik (1900-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur