CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials

Per Ericsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Ulf Södervall (Institutionen för fysik)
Journal Of Applied Physics Vol. 78 (1995), 5, p. 3472-3480.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17733

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)
Institutionen för fysik (1900-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur