CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

The influence of wafer dimensions on the contact wave velocity in silicon wafer bonding

Stefan Bengtsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik) ; Karin Ljungberg ; Jan Vedde
Applied Physics Letters Vol. 69 (1996), 22, p. 3381-3383.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17727

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur