CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz

Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik) ; Petra Amirfeiz (Institutionen för mikroelektronik)
Journal Of Electronic Materials Vol. 29 (2000), 7, p. 909-915.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2006-08-28. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 17718

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur