CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Preparation and electrical characterization of silicon structures formed by wafer bonding

Stefan Bengtsson (Institutionen för fasta tillståndets elektronik)
Göteborg : Chalmers University of Technology, 1991. ISBN: 91-7032-655-x.- 60 s. : s.
[Doktorsavhandling]

Nyckelord: Si-Si interfaces, electro-optical studies, deep electron traps, hydrophobic surface



Denna post skapades 2013-04-26. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 176236

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för fasta tillståndets elektronik (1985-1998)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Ingår i serie

Doktorsavhandlingar vid Chalmers tekniska högskola. Ny serie 832


Technical report - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology, Göteborg, Sweden 223