CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for nanometer magnetic particle fabrication.

Piotr Jedrasik (Institutionen för mikroelektronik och nanovetenskap) ; May Hanson (Institutionen för fysik)
Microelectronic Engineering Vol. 61-62 (2002), 2002, p. 811-817.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

Nyckelord: Electron beam lithography, Magnetic Force Microscopy, nanoparticles



Denna post skapades 2006-09-19. Senast ändrad 2007-05-03.
CPL Pubid: 16619

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik och nanovetenskap (1900-2003)
Institutionen för fysik (1900-2003)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur