CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for sub-10 nanometer scale fabrication

Piotr Jedrasik (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, MC2 process laboratorium)
29th Micro- and Nano-Engineering, proceedings (2003)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

Nyckelord: Electron beam nanolithography, oxide masks, dry etching



Denna post skapades 2006-08-29.
CPL Pubid: 16606

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, MC2 process laboratorium (2003-2005)

Ämnesområden

Elektronik

Chalmers infrastruktur