CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Comparing silicon deposition techniques for visible-blind detector fabrication

A. Emadi ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; J. H. Correia ; R. F. Wolffenbuttel
MME 2012, Micromechanics and Microsystems Europe Workshop September 9 - 12, 2012, Ilmenau, Germany (2012)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-09-17.
CPL Pubid: 163481

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Nanoteknik

Chalmers infrastruktur