CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Applications of plasma assisted wafer bonding

Petra Amirfeiz (Institutionen för mikroelektronik) ; Anke Sanz-Velasco (Institutionen för mikroelektronik) ; Martin Bring (Institutionen för mikroelektronik) ; Stefan Bengtsson (Institutionen för mikroelektronik)
Proceedings of the Workshop on wafer bonding, Barcelona, Spain (2002)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-01-15. Senast ändrad 2015-02-11.
CPL Pubid: 16203

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur