CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Micro pinball game demonstrating an easy MEMS transfer process using room temperature plasma bonding

Martin Bring (Institutionen för mikroelektronik) ; Anke Sanz-Velasco (Institutionen för mikroelektronik) ; Henrik Rödjegård ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik)
Proceedings of the 13th Micromechanics Europe workshop 2002, MME´02 Sinaia, Romania (2002)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-01-15. Senast ändrad 2010-08-30.
CPL Pubid: 16202

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur