CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Low Partial Pressure Chemical Vapor Deposition of Graphene on Copper

Jie Sun (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Niclas Lindvall (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Matthew Cole ; Koh Angel ; Teng Wang (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Ken Teo ; Daniel Chua ; Johan Liu (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Avgust Yurgens (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik)
IEEE Transactions on nanotechnology (1536-125X). Vol. 11 (2012), 2, p. 255-260.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

A systematic study of the Cu-catalyzed chemical vapor deposition of graphene under extremely low partial pressure is carried out. A carbon precursor supply of just P-CH4 similar to 0.009 mbar during the deposition favors the formation of large-area uniform monolayer graphene verified by Raman spectra. A diluted HNO3 solution is used to remove Cu before transferring graphene onto SiO2/Si substrates or carbon grids. The graphene can be made suspended over a similar to 12 mu m distance, indicating its good mechanical properties. Electron transport measurements show the graphene sheet resistance of similar to 0.6 k Omega/square at zero gate voltage. The mobilities of electrons and holes are similar to 1800 cm(2)/Vs at 4.2 K and similar to 1200 cm(2)/Vs at room temperature.

Nyckelord: Chemical vapor deposition; graphene; low partial pressure; nanoelectronics; wet transfer



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-06-29.
CPL Pubid: 159804

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Nanovetenskap och nanoteknik
Ytor och mellanytor
Halvledarfysik

Chalmers infrastruktur

NFL/Myfab (Nanofabrication Laboratory)

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Towards graphene-based devices: Fabrication and characterization


Fabrication and characterization of graphene-superconductor devices