CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Spinodal decomposition of Ti0.33Al0.67N thin films studied by atom probe tomography

L. J. S. Johnson ; Mattias Thuvander (Institutionen för teknisk fysik, Mikroskopi och mikroanalys ; Institutionen för teknisk fysik, Materialens mikrostruktur ) ; Krystyna Stiller (Institutionen för teknisk fysik, Mikroskopi och mikroanalys ; Institutionen för teknisk fysik, Materialens mikrostruktur ) ; M. Oden ; L. Hultman
Thin Solid Films (0040-6090). Vol. 520 (2012), 13, p. 4362-4368.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

Details of the phase decomposition in NaCl-structure Ti0.33Al0.67N thin films deposited by cathodic arc evaporation are studied by atom probe tomography. We demonstrate that as-deposited films are in the earliest stage of decomposition for which electron microscopy and x-ray diffraction indicate a single-phase solid solution. Annealing at 900 degrees C further activates spinodal decomposition of the films, although pockets of unde-composed material remain after 2 h. N preferentially segregates to the AlN and TiN domains, causing the TiAlN matrix to be understoichiometric, by the energetics of N vacancies in TiAlN. The corresponding modulation in stoichiometry implies a Kirkendall effect, caused by different Al and Ti diffusivities.

Nyckelord: Titanium aluminum nitride, Spinodal decomposition, Atom probe tomography, fe-cr alloys, specimen preparation, computer-models, nitride films, ti1-xalxn, level, microstructure, performance, deposition, target



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-05-24. Senast ändrad 2014-09-02.
CPL Pubid: 157995

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för teknisk fysik, Mikroskopi och mikroanalys (2005-2012)
Institutionen för teknisk fysik, Materialens mikrostruktur (2012-2015)

Ämnesområden

Materialvetenskap
Fysik

Chalmers infrastruktur