CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Integrated MEMS-Tunable VCSELs Using a Self-Aligned Reflow Process

Benjamin Kögel (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; P. Debernardi ; Petter Westbergh (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Johan S. Gustavsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Åsa Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Erik Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Anders Larsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik)
IEEE Journal of Quantum Electronics (0018-9197). Vol. 48 (2012), 2, p. 144-152.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

A simple microelectromechanical systems technology for wafer-scale integration of tunable vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) is presented. The key element is a self-aligned reflow process to form photoresist droplets, which serve as sacrificial layer and preform for a curved micromirror. Using a 3-D electromagnetic model, the half-symmetric cavity is optimized for singlemode emission. The technology is demonstrated for electrically pumped, short-wavelength (850 nm) tunable VCSELs, but is transferable to other wavelengths and material systems. Fabricated devices with 10 mu m large current aperture are singlemode and tunable over 24 nm. An improved high-speed design with reduced parasitic capacitance enables direct modulation with 3dB-bandwidths up to 6 GHz and data transmission at 5Gbit/s. Small signal analysis shows that the intrinsic parameters (resonance frequency and damping) are wavelength dependent through the differential gain.

Nyckelord: Microelectromechanical system, microlens, micromirror, photoresist, reflow, tunable laser, vertical-cavity surface-emitting laser, wafer-scale integration, tunnel-junction, mode, laser



Denna post skapades 2012-02-21. Senast ändrad 2016-04-11.
CPL Pubid: 155270

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Fysik

Chalmers infrastruktur