CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Development of micromechanical and optical devices incorporating deposited PZT films

R. V. Wright ; A. Patel ; M. Pealat ; R. Nonninger ; R. Diels ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; C. Fox ; P. Netter
12th International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF 2000), Aachen, Germany, March 12-15 (2000)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154656

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Informations- och kommunikationsteknik
Materialvetenskap
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Materialteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur