CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology

Jessica Melin ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Thierry Corman ; Göran Stemme
MME´99, Sept. 27-28, Gif-sus-Yvette, France (1999)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154651

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Energi
Informations- och kommunikationsteknik
Materialvetenskap
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur