CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Encapsulation of silicon resonant structures

Thierry Corman ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme
Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden (1998)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154648

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Materialvetenskap
Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur