CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Low pressure encapsulated resonant structures excited electrostatically

Thierry Corman ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme
Transducers'97, June 16-19, Chicago, USA (1997)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154646

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Produktion
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur