CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching

Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik)
The Seventh Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Oct. 21-22, Barcelona, Spain (1996)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154645

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Materialvetenskap
Produktion
Elektroteknik och elektronik
Kemiteknik
Materialteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur