CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

An improved valve-less pump fabricated using deep reactive ion etching

Anders Olsson ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme ; Erik Stemme
IEEE 9th International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'96), San Diego, California, USA, Feb. 10-15 p. 479-484. (1996)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154643

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Livsvetenskaper
Produktion
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Industriell bioteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur