CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A Coriolis mass flow sensor structure in silicon

Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme ; Erik Stemme
IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1996 MEMS), Feb. 11-15, San Diego, USA (1996)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154641

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Energi
Livsvetenskaper
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur