CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A valve-less planar pump isotropically etched in silicon

Anders Olsson ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme ; Erik Stemme
The Sixth Micromechanics Europe Workshop (MME'95), Copenhagen, Denmark, Sept. 3-5 p. 120-123. (1995)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-31.
CPL Pubid: 154639

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Informations- och kommunikationsteknik
Livsvetenskaper
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur