CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

MICRO PINBALL GAME DEMONSTRATING AN EASY MEMS TRANSFER PROCESS USING ROOM TEMPERATURE PLASMA BONDING

Martin Bring (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Anke Sanz-Velasco (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Henrik Rödjegård (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
Journal of Micromechanics and Microengineering (0960-1317). Vol. 13 (2003), 4, p. 51-56.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-01-15. Senast ändrad 2010-08-30.
CPL Pubid: 15399

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Design and fabrication of hidden hinge monocrystalline silicon micromirrors for maskless lithography