CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors

Korbinian Kunz ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme
Sensors and Actuators A 92, p. 156-160. (2001)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153984

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur