CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology

Jessica Melin ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Thierry Corman ; Göran Stemme
Journal of Micromechanics and Microengineering 10, p. 209-217. (2000)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153962

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur