CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Low pressure encapsulated resonant structures with integrated electrodes for electrostatic excitation and capacitive detection

Thierry Corman ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme
Sensors and Actuators A66 p. 160-166. (1998)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153953

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Innovation och entreprenörskap (nyttiggörande)
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur